2013/08/30 Category : 未選択 島津製作所、コンパクトな電源一体化ターボ分子ポンプを発売 コンパクトな電源一体化ターボ分子ポンプ 「TMP－X２９０５／X３４０５シリーズ」を発売 －半導体・液晶パネル製造装置の低コスト化、省フットプリント化に寄与－ ※製品画像は添付の関連資料を参照 島津製作所は、半導体・液晶パネルなどの製造装置向けに、排気速度３０００L／sクラスの磁気軸受形電源一体化ターボ分子ポンプ「TMP－X２９０５／X３４０５シリーズ」を９月２日に発売します。 ターボ分子ポンプとは、タービンを高速回転させ分子レベルで排気を行う真空ポンプで、清浄な高真空が要求される半導体や液晶などの製造プロセスにおいて欠かすことのできないキーコンポーネントの一つです。 本シリーズは、ポンプ本体と電源が一体でコンパクトであるとともに、ライトプロセス・ハードプロセスのいずれの製造装置にも搭載できる汎用性の高いターボ分子ポンプです。 当社は、ターボ分子ポンプをグローバル戦略商品として位置付けており、本シリーズについても米国・台湾・韓国・中国を中心に全世界へ拡販を進めていきます。 【開発の背景】 近年半導体や液晶パネルなどを使用する各種電子機器の価格が低下していることに伴い、半導体・液晶パネルメーカの製造装置に対するコスト意識は厳しいものとなっています。 製造装置に搭載されるターボ分子ポンプについては、ポンプ本体と電源がケーブルで接続される構成である別置き型から、ポンプ本体と電源を一体にすることで部品点数の削減・コストの低減を実現する電源一体化ターボ分子ポンプへのニーズが高まっています。 当社は不活性ガスを使用するスパッタ装置などのライトプロセス専用ポンプとして電源一体化ターボ分子ポンプTMP－Vシリーズを上市しており、日本はもとより海外においてもご好評をいただいております。今回は、腐食性ガスを使用するエッチング装置など、ターボ分子ポンプにとって厳しい使用環境となるハードプロセスにも対応できる本シリーズを開発しました。 今後TMP－Xシリーズを排気速度３００L／sから４０００L／sまで順次展開してラインナップを拡充することにより、半導体・液晶パネル製造装置メーカの多様なニーズにお応えしていきます。 【本製品の特長】 １．業界最小レベルのコンパクトな電源一体化ターボ分子ポンプを実現 設計の見直し等により、排気速度を維持したまま従来の電源一体化ターボ分子ポンプと比べて高さ寸法を約１５％低減することができました。また、ハードプロセス対応の電源別置き型ターボ分子ポンプのポンプ本体と比べても、ほぼ同等サイズの電源一体化ターボ分子ポンプを実現しました。 従来の電源別置き型ターボ分子ポンプで必要だった電源を設置するラックやケーブルといった部品が不要になるため、製造装置の設計の自由度が増すとともに、製造装置の低コスト化、また省フットプリント化を可能にします。 ２．ハードプロセスへの対応 ポンプ温度制御機能を備え、またモータ駆動出力を向上させることで、ガス流量の多いプロセスや、反応性生成物を伴うプロセスでも使用可能となりました。 また、当社ターボ分子ポンプの特長である、耐腐食コーティング、ダイナミックシールを継続採用しており、腐食性の高いガスを使用するハードプロセスにおいても、ターボ分子ポンプへの浸食を防ぎ高い信頼性を確保しています。 ３．省エネルギー化を達成 今回新たに開発したパワーユニットや高効率モータを採用することにより、従来機種に比べて消費電力を最大１５％削減（無負荷時）した、環境負荷の低いシリーズです。 名称：磁気軸受形 電源一体化ターボ分子ポンプ「TMP－X２９０５シリーズ」「TMP－X３４０５シリーズ」 価格：TMP－X２９０５シリーズ ５，１００，０００円（税別） TMP－X３４０５シリーズ ５，５００，０００円（税別） サイズ：TMP－X２９０５シリーズ（VG２５０）φ３５０×H４５８mm １１５kg TMP－X３４０５シリーズ（VG３００）φ４００×H３９５mm ８９kg 販売計画：５００台（初年度、TMP－X２９０５／X３４０５合わせて） 詳しい製品説明についてはこちら http://www.shimadzu.co.jp/products/semicon/products/tmp/ittai/index.html PR Comment0 Comment Comment Form お名前name タイトルtitle メールアドレスmail address URLurl コメントcomment パスワードpassword
